半自動晶圓盒/晶舟盒清洗機(jī)

（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）

適用場景：在密閉的空間用DIW對Foup進(jìn)行清洗和干燥

設(shè)備特點：

1、清洗對象：12寸FOUP

2、設(shè)備主要構(gòu)成：清洗腔、真空腔、自動充N2、上下料口、6軸機(jī)械手等機(jī)構(gòu)組成

3、清洗能力：24只FOUP/小時（依配置的清洗腔中真空腔數(shù)量而定）

4、干進(jìn)干出；

5、可與AMHS對接、可人工上料；

6、FOUP本體和Cover自動分離和清洗；

7、Chamber具備DIW噴淋、甩干以及真空+IR干燥功能；

8、可預(yù)設(shè)多條Recipe,操作簡潔；

9、選配SECS/GEM接口；

10、實時記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)，多種數(shù)據(jù)分析功能；

11、可實現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯，具有過點信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能12、設(shè)備外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm我司設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，性能可靠，是你的生產(chǎn)好幫手！山東半自動片盒清洗機(jī)出廠價

輔助功能和操作控制

觸摸屏安裝在前面一標(biāo)準(zhǔn)化

也可以通過安裝第二個觸摸屏在背面進(jìn)行控制一選項

其他特征

工藝腔室內(nèi)LED燈光照明

可安裝去靜電裝置和電陽率監(jiān)測裝置選項

穩(wěn)定、亞光不銹鋼籠子

材料的外殼一可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)

PP材料的工藝腔室一可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)

設(shè)備前面帶有滑動門一標(biāo)準(zhǔn)化為手動/可選擇自動

設(shè)備前面的滑動門在做維護(hù)時可完全打開

其他種類的花籃和片盒相適應(yīng)的組件一選項圖形化的界面

易于操作和控制

10“觸摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口

江西半自動FOUP清洗機(jī)現(xiàn)貨芯夢設(shè)備配備快速調(diào)整功能，適應(yīng)不同使用場景！

FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）清洗設(shè)備是用于清洗和處理半導(dǎo)體制造中使用的FOUP（前開式統(tǒng)一載具）的設(shè)備。FOUP是一種用于運輸和儲存半導(dǎo)體晶圓的載具，通常由塑料材料制成，具有前開式設(shè)計和統(tǒng)一的尺寸標(biāo)準(zhǔn)。FOUP清洗設(shè)備的作用是將FOUP清洗干凈，去除表面的污染物和顆粒，以確保在半導(dǎo)體制造過程中使用的晶圓始終保持良好的潔凈度。FOUP清洗設(shè)備通常具有以下主要組成部分：清洗艙：清洗艙是FOUP放置和清洗的區(qū)域。它通常包括一個容納FOUP的托盤或夾具，并配備噴淋裝置、超聲波清洗器、噴氣裝置等清洗裝置。氣流系統(tǒng)：氣流系統(tǒng)用于提供潔凈的氣流環(huán)境，以防止新的顆粒進(jìn)入FOUP。它通常包括高效過濾器和空氣凈化系統(tǒng)，以確保提供高質(zhì)量的潔凈氣氛?？刂葡到y(tǒng)：控制系統(tǒng)用于監(jiān)控和控制清洗設(shè)備的運行。它包括傳感器、執(zhí)行器和計算機(jī)控制單元，用于監(jiān)測和調(diào)節(jié)清洗過程中的溫度、壓力、時間等參數(shù)。水處理系統(tǒng)：水處理系統(tǒng)用于提供清潔的水源，用于清洗FOUP。它通常包括反滲透系統(tǒng)、離子交換器和過濾器，以去除水中的離子、顆粒和有機(jī)物。

FC-H300清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)《晶圓制造、集成電路、先進(jìn)封裝，整個芯片濕法制程階段均適用)、化合物行業(yè)、片盒制造廠。

FC-H300清洗機(jī)適用于:Shippingboxes,如SEP、Integris、KakizakiDainichiFOSB、FOUP和其他品圓尺寸產(chǎn)品，可定制清洗從50mm到300mm晶圓盒材料

FC-H300清洗機(jī)優(yōu)點：

超聲工藝設(shè)計，提供品圓盒(FOUP)清潔等級；

清洗操作方便，實現(xiàn)LOAD-UNLOAD全自動過程控制；

電子級的PP/PVDF/316L等材料緊湊型美觀設(shè)計低：

COO：

可靠性高：

優(yōu)點使用壽命:

標(biāo)準(zhǔn)10年：

選擇芯夢設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動化！

對于晶圓加工的各個環(huán)節(jié)而言，清洗工藝都是必不可少的基本工序，隨著芯片制造工藝先進(jìn)程度的持續(xù)提升，對晶圓表面污染物的控制要求也在不斷提高，清洗工序也不斷向精細(xì)化發(fā)展，而對清洗設(shè)備的需求也在相應(yīng)增加。

當(dāng)前，國際制造產(chǎn)業(yè)的競爭日趨激烈，能否在半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)上趕超國外，關(guān)系著中國信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的前途。未來，首年科技將繼續(xù)肩負(fù)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備崛起的使命，不斷推陳出新，加速研發(fā)新的清洗產(chǎn)品，滿足不同市場需求。與此同時，首年科技也將在晶圓載具、鐵環(huán)、光罩傳輸中加大投入，生產(chǎn)更具競爭優(yōu)勢的設(shè)備，助力中國芯片行業(yè)做大做強(qiáng)。選擇我司設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動化！海南全自動FOUP清洗機(jī)哪家便宜

芯夢設(shè)備具有高度定制化功能，滿足你不同生產(chǎn)需求！山東半自動片盒清洗機(jī)出廠價

提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗，并防止細(xì)菌滋生專項研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式，實現(xiàn)超微精密清洗，節(jié)能設(shè)計;高效干燥技術(shù)，AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過程實時監(jiān)控，兼容自動傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300，符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量，占地面積設(shè)計。

我們的晶圓盒清洗機(jī)采用先進(jìn)的自動化控制技術(shù)，能夠自動完成清洗和干燥的過程，無需人工干預(yù)。具有高效的清洗和干燥功能，確保晶圓盒表面干凈無塵、干燥無水痕。同時，我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能，能夠自動識別晶圓盒類型，自動調(diào)整清洗和干燥的參數(shù)，保證清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。操作簡單，維護(hù)方便，降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī)，讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、自動化！山東半自動片盒清洗機(jī)出廠價

江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場高度，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無限潛力，江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！

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